광학 검사 (Optical Inspection)반도체 웨이퍼 테스트에서 광학 검사는 필수적인 중간 검사 공정이며,결함 데이터를 기반으로 불량 패턴 예측, 공정 제어 피드백, 수율 개선 전략 수립에 매우 중요한 역할검사 목적: 패턴 결함, 오염, Particle, 스크래치 등 물리적 외관 이상 탐지적용 시점: 주로 Front-end 공정 후 (Lithography 이후) 또는 Back-end 공정 전검사 방식: 고해상도 카메라와 조명, 반사/산란된 빛의 강도 및 분포를 분석검사 장비: KLA-Tencor, Applied Materials의 Patterned Wafer Inspector, SEM 기반 리뷰 장비 등 광학 검사에서 탐지 가능한 주요 결함 결함 유형설명Particle공정 중 낙하하거나 붙은 미세..